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安信證券最新研報表示，零部件是半導體設備核心，市場規模超400億美元，品類眾多，單一產品市場集中度高，技術壁壘高，國產化率低，部分品類率先突破，國產化快速推進。推薦國內高純潔凈材料龍頭新萊應材、氣體輸送系統龍頭萬業企業，從清洗設備切入半導體零部件的至純科技，建議關注零部件業務快速增長的江豐電子、國內平臺型零部件企業富創精密、國內真空泵領先企業漢鐘精機、半導體精密運動控制系統龍頭華卓精科。

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